2024年起 光学及X射线量测设备进入规模量产
2024年3月 启用5300平米量产空间，在深圳合计建成7300平米研发及生产基地
2023年1月 光学及X射线量测设备实现商用
2022年2月 X射线薄膜量测设备AX-T100原型机完成
2021年12月 光学膜厚设备HY-100原型机完成
2021年12月 建成超过1000平米具有十级、百级、千级标准的洁净间
2021年7月 完成TXRF和GIXRF技术验证
2021年5月 完成光学反射式薄膜技术验证
2021年3月 完成光学椭偏薄膜技术验证
2020年10月 深圳市埃芯半导体科技有限公司成立
微信公众号