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X射线晶圆污染量测设备
Åthena Fulfillment™ 系列
晶圆表面各类污染、沾污、金属污染将导致器件的失效，埃芯自主研发的全反射X射线荧光(TXRF)测量技术为晶圆加工提供了快速、准确的表晶圆表面污染检测手段。
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