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X射线薄膜量测设备 Åthena Xcellence® T系列
采用自由组合式的XRR及XRF技术;
具备掠入射或常规入射等多种入射方式;
对应先进制程或成熟制程的薄膜、超薄膜量测,包括复杂多层结构;
提供各类金属、金属化合物的薄膜量测;
可量测薄膜的成分、膜厚、密度、粗糙度等多种参数。
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