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X射线薄膜量测设备 Åthena Xcellence™ T 系列
采用自由组合式的快速X射线反射技术（XRR）及X射线荧光技术（GIXRF），掠入射角或常规入射角（XRF）；
可对应先进制程或成熟制程薄膜、超薄膜，包括复杂多层结构的量测；
提供各类金属薄膜、金属化合物，部分轻元素，例如P薄膜的成分、膜厚、密度、粗糙度等多种参数量测。
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