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X射线薄膜量测设备 Åthena Xcellence® T系列
采用自由组合式的XRR及XRF技术；
具备掠入射或常规入射等多种入射方式；
对应先进制程或成熟制程的薄膜、超薄膜量测，包括复杂多层结构；
提供各类金属、金属化合物的薄膜量测；
可量测薄膜的成分、膜厚、密度、粗糙度等多种参数。
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