X射线薄膜量测设备
Åthena Xcellence™ T系列

Åthena Xcellence™ T系列X射线薄膜量测系统(Fast XRR & GIXRF)采用自由组合式的快速X射线反射技术(XRR)及X射线荧光技术GIXRF, XRF(掠入射角或常规入射角)，可以对应先进或成熟制程薄膜、超薄膜，包括复杂多层结构的量测，提供精确快速的各类金属薄膜、金属化合物，以及部分轻元素，例如P薄膜的成分、膜厚、密度、粗糙度等多种薄膜特性参数量测。可以应对Logic、SDRAM或高深宽比的先进3D NAND制程。