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X射线光电子能谱量测设备 Åthena Xcellence® P系列
● 采用 XPS 技术，实现高表面灵敏度与高化学分辨能力
● 支持薄膜膜厚、元素组成及化学价态的高精度分析
● 覆盖单层及多层复杂薄膜结构的综合表征
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