埃芯自主研发的High Yield™系列产品采用穆勒矩阵和反射式光谱混合技术，可以量测薄膜的厚度、光学常数(折射率n、消光系数k等)、能带宽度、缺陷等膜层参数，具备多层堆叠等复杂结构的量测能力。此系统适用于材料能隙监控、工艺开发及在线工艺监控、工程分析、工艺设备匹配等复杂应用。