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光学薄膜量测设备High Yield
®
系列
采用穆勒矩阵和反射式光谱混合技术；
量测薄膜的厚度、光学常数（折射率n，消光系数k等）能带宽度、缺陷等膜层参数，具备多层堆叠等复杂结构的量测能力。
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