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X射线轻元素及薄膜量测设备Åthena Xcellence® LE系列
采用基于高通量X射线荧光（XRF）技术；
提供B,P,C,O,N,F等各种轻元素的成分量测，是BPSG,PSG,FSG,P Doped Poly,CHM等薄膜成分量测的理想选择；
同样应用于逻辑、先进存储DRAM，MRAM，VNAND的各类金属薄膜，多层电路薄膜厚度量测。
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