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X射线轻元素及薄膜量测设备Åthena Xcellence® LE系列
● 采用高通量 XRF 技术，搭载波谱-能谱双模式协同探测架构
● 兼具高检测灵敏度、宽元素覆盖范围与长期稳定性
● 覆盖 BPSG、PSG、FSG、P-Poly、TiN、TaN、W、Co 等关键制程材料监测
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