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X射线轻元素及薄膜量测设备
Åthena Xcellence™ LE系列
Åthena Xcellence™ LE系列采用自主研发的高通量X射线荧光(XRF)技术,提供B, P, C, O, N, F等各种轻元素的成分量测,是BPSG, PSG, FSG, P doped Poly, CHM等薄膜成分量测的理想选择。此外,逻辑,先进存储DRAM, MRAM, VNAND的各类金属薄膜,多层电路薄膜厚度量测等也是该设备的标准应用。

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