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X射线衍射量测设备
Åthena Xcellence™ D系列
埃芯自主研发的Åthena Xcellence™ D系列快速X射线衍射(XRD)量测设备,提供对各类Epi材料晶格结构及膜厚的分析手段,例如SiGe的stress, strain, composition, relaxation, THK等在线或者线下量测。此系统适用于工艺开发、材料应力工程开发、设备监控,工艺设备匹配等复杂应用。

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