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X射线衍射量测设备Åthena Xcellence® D
● 首创 XRD/XRR/XRF 三合一整合平台，实现多技术一体化表征与量测
● 支持大小光斑及离线/在线测量模式
● 覆盖工艺开发、材料应力研发、产线监控及工艺平台匹配等应用场景，满足先进制程多维度表征需求
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