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X射线衍射量测设备Åthena Xcellence™ D 系列
提供对各类Epi材料晶格结构及膜厚的分析手段，例如SiGe的Stress,Strain, Composition，Relaxation,THK等在线或者线下测量；
适用于工艺开发、材料应力工程开发、设备监控、工艺设备匹配等复杂应用。
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