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厚硅及关键尺寸量测产品 HighYield® Competence-R 系列
● 采用双光路光学架构，支持常规及高分辨量测
● 支持厚硅、厚膜及 TSV、DTI、RST 等关键结构量测
● 支持成熟制程 OCD/TK 测量，满足先进封装多场景工艺监控需求
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