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X射线荧光量测产品Åthena Xcellence® TArray 系列
● 采用 XRF 技术搭配高灵敏度探测器
● 覆盖 micro-bump 金属组分及单层、多层复杂金属膜层的测量需求
● 支持混合键合 CMP 工艺监控等先进封装应用
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